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【2h】

Nano-particle size-dependent charging and electro-deposition in dielectric barrier discharges at atmospheric pressure for thin SiOxfilm deposition

机译：介质屏障在介质屏障中的纳米粒度依赖性充电和电沉积在大气压下进行薄SiOxFilm沉积

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N Jidenko; C Jimenez; F Massines; J-P Borra;
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年度 2007
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