Coatings; Deposition; Ion beams; Silicon nitrides; Sputtering; Argon; Auger spectroscopy; Electron spectroscopy; Interferometry;
机译:活性离子束溅射轰击对氮化硅沉积过程中光学性能的影响
机译:离子束辅助沉积在硅上氮化钒和氮化锆涂层的优选取向研究
机译:反应离子束辅助电子束物理气相沉积(RIBA,EB-PVD)产生的氮化钛(TiN)涂层的组织演变
机译:沉积条件对R.F的力学性能和磨损行为的影响。反应磁控溅射氮化硅膜
机译:用于电子和光伏应用的氮化锌和氮化氧薄膜的反应溅射沉积和表征。
机译:镧的非反应性溅射沉积和氮化镧的反应性溅射沉积过程中结构形成的原位和实时监测
机译:CdS / Cuinse2薄膜太阳能电池的氮氮化硅抗反射涂层通过电子束辅助化学气相沉积