Gas turbine rotors; Vapor deposition; Silicon carbides; Ceramic materials; Residual stress; Defects(Materials); Production engineering; Optimization; Chemical vapor deposition;
机译:中子辐照对PECVD技术制备的非晶碳化硅和氮掺杂碳化硅薄膜电学特性的影响
机译:热线CVD开发微晶碳化硅窗口层及其在微晶硅薄膜太阳能电池中的应用
机译:150mm CVD选择性碳化硅外延生长技术
机译:通过PECVD技术沉积的碳化硅薄膜用于光电化学水分解装置
机译:高温扩散技术的发展,用于改善碳化硅p-i-n二极管的边缘端接和开关性能。
机译:错误:PolozovI.等。碳化硅纤维增强碳化硅基质复合材料的制造使用粘合剂喷射添加剂制造不规则形状和球形粉末。材料2020131766
机译:PECVD碳化硅表面微加工技术和某些MEMS应用
机译:碳化硅径向涡轮机研究。