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机译:在超薄硅膜上集成加热器和传感器图案的高温微反应器的制造
microreactor; micromachining; solid-source doping; membrane; shadow mask; thin-film deposition; DIRECT OXIDATION; BORON; DIFFUSION; DEPENDENCE; METHANE;
机译:在超薄硅膜上集成加热器和传感器图案的高温微反应器的制造
机译:氮化硅管中带有薄膜加热器和传感器图案的高温微反应器的制备和表征
机译:集成热流传感器的制造和测试,该热流传感器通过气孔上方的多孔硅膜进行热隔离
机译:集成加热器和温度传感器的硅微通道的沸腾研究。
机译:用于高温传感器的碳化硅JFET集成电路技术。
机译:用于硅-Pyrex玻璃微反应器的单片集成的扩散硅双区加热器用于生产纳米粒子:热交换方面
机译:用于硅-Pyrex玻璃微反应器的单片集成的扩散硅双区加热器,用于生产纳米粒子:热交换方面