American Society of Mechanical Engineers(ASME);
ASME;
flow boiling; microchannel; temperature sensor; sensitivity; heater; etching; anodic bonding; fusion bonding;
机译:集成微加热器和温度微传感器在硅上成核池沸腾过程中人造腔之间的成核位置相互作用
机译:在超薄硅膜上集成加热器和传感器图案的高温微反应器的制造
机译:包含一组加热器和温度传感器阵列的微通道系统的设计考虑和制造
机译:硅微通道的制造与流沸研究的集成加热器和温度传感器
机译:主动控制微通道流动沸腾中的表面温度
机译:用于单片三维集成电路应用的低成本和低温多晶硅纳米线传感器阵列的制造
机译:带有人造空腔,集成温度微传感器和加热器的硅上FC-72的实验池沸腾研究