机译:应用于蓝宝石衬底的双层光刻胶互补光刻技术,用于产生亚微米图案
机译:应用于蓝宝石衬底的双层光刻胶互补光刻技术,用于产生亚微米图案
机译:用于在蓝宝石衬底上形成亚微米图案的双光刻胶互补光刻技术
机译:纳米球光刻和纳米压印光刻技术在蓝宝石衬底上形成亚微米尺寸的图案
机译:通过双层光致抗蚀剂互补光刻制备的蓝宝石衬底上的亚微米图案
机译:用于纳米级光刻的图案化自组装单分子层和催化产生的电渗的控制
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:用于亚微米图形光刻的氧化物光刻胶膜的物理性质