机译:使用聚焦电子束诱导的XeF2气体刻蚀在多层硅基膜中制备纳米孔
Nanopore; Silicon-on-insulator; Multilayer membrane; Nanofabrication; Chemical etching; Focused electron beam;
机译:使用聚焦电子束诱导的XeF2气体刻蚀在多层硅基膜中制备纳米孔
机译:XeF2的脉冲激光辅助聚焦电子束诱导的钛蚀刻:增强的反应速率和前体传输。
机译:聚焦电子束诱导的XeF2蚀刻钛
机译:通过聚焦氦离子束照射增强湿法蚀刻氮化硅膜中纳米孔的制造
机译:通过聚焦离子束诱导的选择性混合和湿法化学蚀刻形成光通道波导:设计,制造和表征。
机译:结合聚焦的电子束诱导的沉积和蚀刻用于致密线的图案化而不互连材料
机译:控制聚焦电子束诱导的蚀刻用于制造子梁尺寸纳米孔