利用聚焦电子束制作高精度纳米孔及纳米孔阵列的方法

摘要

本发明提供了一种利用聚焦电子束简单、高效制作高精度纳米孔及纳米孔阵列的方法，该方法是在真空度为1×10－7～1×10－10Torr，工作电压为100kV～200kV下，采用强度是为1×107～1×108e/nm2s的聚焦电子束辐照聚甲基丙烯酸甲酯纳米纤维1～60s，得到孔径在0.5nm～10nm之间的纳米孔；偏转电子束继续辐照聚甲基丙烯酸甲酯纳米纤维，可得到纳米孔阵列。本发明通过电子束的强度和辐照时间可以精确控制纳米孔的尺寸(精度可达0.1纳米)；利用静电控制电子束偏转从而控制纳米孔的周期，纳米孔阵列的周期可控制在1nm到20nm之间。主要应用于DNA序列检测、生物传感器、纳米生物电子学以及光子晶体等领域。