一种纳米孔单分子传感器以及制造纳米孔阵列的方法

摘要

一种纳米孔单分子传感器包括固态支撑膜、固态薄膜、若干第一电极对、第二电极对；在固态支撑膜上开设有若干个窗口；固态薄膜附在固态支撑膜上；固态薄膜的材料是氮化硅或者原子厚度单层二维材料石墨烯、氮化硼或二硫化钼；若干第一电极对安装在固态薄膜上位于若干个窗口附近，第一电极对包括两个分别安装在固态薄膜的两侧而不接触的电极，该电极对的材料为银/氯化银，或者是铂；第二电极对安装在固态薄膜上，第二电极对包括两个安装在固态薄膜同一侧的电极，两个电极的材料为惰性金属铜、汞、银、铂和金。本发明可以成批量的开设纳米孔，制成纳米孔阵列，每个孔位置可控，适合多通道独立信号采集，避免信号串扰，效率高，满足高通量的要求。