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机译：聚焦电子束诱导腐蚀的程序
公开/公告号AT497250T
专利类型
公开/公告日2011-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMS GMBH;
申请/专利号AT20020023217T
发明设计人 EDINGER KLAUS;KOOPS HANS WILFRIED PETER;
申请日2002-10-16
分类号H01J37/305;H01L21/302;C23F1/00;H01Jnull/null;H01J37/317;H01L21/027;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 18:03:35
机译： 用聚焦的电子束在所述表面上引起化学反应在表面上蚀刻材料的程序
机译： 用聚焦电子束在所述表面上引起化学反应在表面上蚀刻材料的程序
机译： 聚焦电子束诱导腐蚀的程序
