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机译:聚焦电子束诱导的XeF2蚀刻钛
机译:XeF2的脉冲激光辅助聚焦电子束诱导的钛蚀刻:增强的反应速率和前体传输。
机译:使用聚焦电子束诱导的XeF2气体刻蚀在多层硅基膜中制备纳米孔
机译:有和没有XeF2气体辅助的激光辅助聚焦He +离子束诱导刻蚀
机译:芯片级聚焦电子束诱导刻蚀氮化硅膜的独特束流写入策略
机译:通过聚焦离子束诱导的选择性混合和湿法化学蚀刻形成光通道波导:设计,制造和表征。
机译:结合聚焦的电子束诱导的沉积和蚀刻用于致密线的图案化而不互连材料
机译:控制聚焦电子束诱导的蚀刻用于制造子梁尺寸纳米孔
机译:强隧道内隧道阻力对聚焦离子束刻蚀制备单电子晶体管电导的影响2。会议文件