机译:使用物理面膜将深层结构浸入铌酸锂中
Lithium Niobate; LiNbO{sub}3; Wet Etch; Physical Mask;
机译:使用物理面膜将深层结构浸入铌酸锂中
机译:通过湿式和干式蚀刻铬掩模上的图案转移,在铌酸锂中制造光子晶体
机译:用于微光学传感器的深湿蚀刻硅腔:掩膜对$ {111} $侧壁表面质量的影响
机译:气体组成和掩模材料对硅中干蚀刻结构蚀刻轮廓的影响
机译:高度芳族单分子蚀刻掩模的抗蚀刻性机理和发展:迈向分子光刻。
机译:使用热湿润的Pt / Pd合金蚀刻掩膜的无光刻法制备大面积亚波长抗反射结构
机译:用于在微聚合物基板上集成微金属结构的物理掩模工艺:物理掩模
机译:通过湿法和干法蚀刻铬掩模进行图案转移制备锂铌酸盐中的光子晶体。