机译:用于微光学传感器的深湿蚀刻硅腔:掩膜对$ {111} $侧壁表面质量的影响
Micro Nano Sciences and Systems Department, FEMTO-ST Institute, Besançon, France|c|;
Micromachining; microsensors; silicon; silicon.;
机译:采用CMOS兼容侧壁掩模技术制造的硅纳米线pH传感器
机译:深X射线光刻中掩模衬底材料对抗蚀剂侧壁粗糙度的影响
机译:通过结合湿法化学蚀刻工艺,提高纳秒级激光钻孔深硅通孔的侧壁质量
机译:表面等离子体激元模式耦合到湿蚀刻量子级联激光器的倾斜侧壁的绝缘体/金属界面
机译:超高真空扫描隧道显微镜的开发。溴暴露下硅(111)和锗(111)表面蚀刻的扫描隧道显微镜研究
机译:通过改进的表面通道技术将重掺杂的块状硅侧壁电极嵌入到自由悬置的微流体通道之间
机译:改善各向异性蚀刻的硅{111}面的表面质量 适用于mm级集成光学系统