机译:在离子源中的离子源中排出等离子体中的辐射通量通过离子萃取系统的开口
plasma; ion source; radio frequency discharge; ion-electron recombination; UV radiation; ion extraction system; heat fluxes;
机译:在离子源中的离子源中排出等离子体中的辐射通量通过离子萃取系统的开口
机译:通过次级RF等离子系统产生的杂物的产生和缓解,用于产生放电的EUV源
机译:基于势垒放电的等离子源用于地球大气污染监测系统
机译:通过次级RF等离子系统产生的杂物的产生和缓解,用于产生放电的EUV源
机译:研究辉光放电等离子体作为分析原子光谱法的雾化和激发源。
机译:放电产生的等离子体光源。关于放电的实际应用和未来前景的技术问题,用于光刻产生的等离子体源。