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预知离子源中灯丝寿命的方法和离子源装置

摘要

一种离子源装置,包括:具有用于发射热电子的灯丝的离子源;用于测量流过该灯丝的电流的电流测量装置;用于测量灯丝上的电压的电压测量装置;用于通过使用由所述电流和电压测量装置测量的电流和电压来计算灯丝电阻值的电阻运算装置;和用于计算直到灯丝应用极限为止时的时间或者直到灯丝应用极限为止时剩余的时间的预知运算装置。

著录项

  • 公开/公告号CN1302511C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-02-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日新意旺机械股份公司;

    申请/专利号CN200310116534.2

  • 发明设计人 岩泽康司;

    申请日2003-11-14

  • 分类号H01J37/08(20060101);H01J37/317(20060101);H01L21/265(20060101);G01R27/00(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人邸万奎;黄小临

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-01-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/08 授权公告日:20070228 终止日期:20121114 申请日:20031114

    专利权的终止

  • 2014-01-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/08 授权公告日:20070228 终止日期:20121114 申请日:20031114

    专利权的终止

  • 2007-02-28

    授权

    授权

  • 2007-02-28

    授权

    授权

  • 2006-05-03

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060331 申请日:20031114

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2006-05-03

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060331 申请日:20031114

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2006-05-03

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060331 申请日:20031114

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2005-02-23

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-02-23

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-06-09

    公开

    公开

  • 2004-06-09

    公开

    公开

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