机译:化学机械抛光过程中金刚石结构依赖性垫和晶圆抛光性能
Sungkyunkwan Univ Dept Mech Engn Suwon Gyeonggi Do South Korea;
Symbiosis Int Deemed Univ SCNN Pune Maharashtra India;
Shinhan Diamond Ind Corp CMP Div Incheon Si Gyeonggi Do South Korea;
Samsung Elect Cleaning CMP Technol Team Memory Business Hwasung Si Gyeonggi Do South Korea;
LTCAM Corp Chem Res Inst Pyeongtaek Si Gyeonggi Do South Korea;
Sungkyunkwan Univ Dept Mech Engn Suwon Gyeonggi Do South Korea;
Sungkyunkwan Univ SKKU Adv Inst Nano Technol SAINT Suwon Gyeonggi Do South Korea;
Sungkyunkwan Univ Dept Mech Engn Suwon Gyeonggi Do South Korea;
Chemical mechanical polishing; Diamond conditioner; Pad asperity; Contact area;
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