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T.Ohi; 姜荣超;
不详;
旭日(Asahi)金刚石工业公司;
日本;
修整器; 化学机械抛光; 抛光效果; 金刚石; 表面; 石化; 工序; 发展方向; 技术; 生产;
机译:有机金刚石盘与钎焊金刚石盘用于修整化学机械抛光垫
机译:金刚石修整剂对钨化学机械抛光中垫表面高度分布的影响
机译:使用金刚石修整器对化学机械抛光中的修整效果进行建模
机译:多种金刚石砂的垫修整现象:对CMP垫修整器设计的启示
机译:使用总体平衡模型对化学机械抛光中的垫磨损和垫修整进行建模。
机译:浆料组成对金刚石薄膜化学机械抛光的影响
机译:旋转金刚石修整器砂轮修整的分析及计算机辅助仿真
机译:在圆柱形研磨中由单点金刚石修整产生的表面波纹
机译:用于半导体器件制造中用于化学机械抛光的抛光垫修整剂,其包括在一侧上具有被金刚石层覆盖的均匀几何突起的基板
机译:使用陶瓷材料制造化学机械抛光垫修整器的方法和由此制造的化学机械抛光垫修整器
机译:化学机械抛光垫修整剂,化学机械抛光工具,化学化学抛光垫的修整方法和化学机械抛光垫
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