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王春华; 左宏森;
中国机床工具工业协会;
化学机械抛光; 金刚石修整盘; 磨盘修整器; 金刚石格栅;
机译:利用CVD金刚石磨盘的固态金刚石旋转修整器的开发:在低速修整器中的应用
机译:开发带有金刚石修整器的垫修整模拟模块,用于CMP应用
机译:化学机械抛光(CMP)中由于金刚石磨盘修整而导致的焊盘变形的有限元分析(FEA)
机译:用于EXA级芯片多处理器的片上网(NOC)架构(CMPS)
机译:碳钢格栅和剪切连接器在氯化物环境中暴露于干湿循环的复合裂纹中的腐蚀发展
机译:旋转金刚石修整器砂轮修整的分析及计算机辅助仿真
机译:在圆柱形研磨中由单点金刚石修整产生的表面波纹
机译:CMP机修整器以及用于检测金刚石修整器中金刚石的位移的方法
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