机译:硅 - 玻璃MEMS结构中热应力的测量与隔离
Tsinghua Univ Dept Precis Instruments Beijing 100084 Peoples R China;
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microelectromechanical system (MEMS); silicon-on-glass; thermal stress; stress measurement; stress isolation;
机译:硅 - 玻璃MEMS结构中热应力的测量与隔离
机译:低电压,高隔离和低应力的RF MEMS结构的优化和开发
机译:用于气动控制应用中的壁面剪应力测量的MEMS热传感器的实验和仿真
机译:MEMS陀螺仪封装中的应力隔离结构
机译:悬浮热氧化物隔离,用于MEMS中的驱动和小电流测量。
机译:玻璃上硅MEMS结构中热应力的测量和隔离
机译:背面晶圆接触硅 - 玻璃集成双极工艺 - 第一部分:冲突电气与热隔离