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机译:具有优异的机械性能和低介电常数的用于大规模集成层间电介质的硅氧烷-倍半硅氧烷杂化薄膜的制备
Thin films; Dielectric properties; Spin coating; Polycondensation; Inorganic polymers; Single-component precursors; Network materials; Star gels; Polysilsesquioxanes; Polymers;
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