机译:氧/氩反应气体比例对HiPIMS工艺涂覆非晶IGZO薄膜光学和电学特性的影响
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS); IGZO thin film; Oxygen/argon reaction gas ratio; Duty cycle;
机译:氧/氩反应气体比例对HiPIMS工艺涂覆非晶IGZO薄膜光学和电学特性的影响
机译:氧/氩比对Ag掺杂ZnO薄膜结构,电学和光学性能的影响
机译:氧气/氩气压力比对室温下沉积的ITO薄膜的形貌,光学和电学性质的影响
机译:氧气含量在极型沟道层中的影响IGZO基薄膜晶体管的电特性
机译:栅极分离对IGZO薄膜晶体管行为的影响
机译:固溶氧化锌薄膜的形貌对薄膜晶体管电学特性的影响
机译:氧气/氩气压力比对室温下沉积的ITO薄膜的形貌,光学和电学性质的影响