机译:通过电子束光刻技术可靠地制造纳米电极之间的3nm间隙
机译:通过电子束光刻技术可靠地制造纳米电极之间的3nm间隙
机译:纳米压印光刻技术对100 nm以下纳米电极的双层剥离纳米加工控制间隙
机译:通过原位光学光刻和电子束光刻相结合的确定性制造与单个量子发射器耦合的圆形布拉格光栅
机译:用于生物传感应用的电子束蒸发氧化铝膜中的金纳米电极阵列气体辅助聚焦离子束制造
机译:用于多束电子束光刻的薄膜栅极光阴极。
机译:滚动纳米电极光刻
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造