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机译:用于步进扫描光刻系统的梯形照明的生成
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机译:具有结构照明的光刻设备,计量系统和照明系统
机译:光刻照明子系统的照明场参数测量
机译:步进扫描光刻系统中与扫描狭缝有关的照明场性能的优化设计
机译:相互辐射优化梯形鳍系统。
机译:太阳能蒸气发电:使用隔热隔离黑纸在非集中照明下极具成本效益和高效的太阳能蒸气发电(全球挑战2/2017)
机译:优化步进扫描光刻设备的运动序列(机械系统)
机译:用于增强光刻聚光器中的照明均匀性的涂层策略