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第一章绪论
1.1课题研究意义及来源
1.2减振隔振技术概述
1.3精密仪器隔振中常用的方法
1.4振动主动控制的基本方法
1.5隔振系统动力学研究的主要方法
1.6本文研究路线及主要内容
第二章模拟隔振试验平台设计中的几个关键问题
2.1概述
2.2方案设计
2.3精密定位系统设计
2.4掩模台及工件台连接装置设计
2.5精密隔振减振系统设计
2.6本章小结
第三章减振系统结构参数选择及其对试验平台动态特性的影响
3.1 ADAMS动力学仿真软件概述
3.2 ADAMS动力学仿真软件理论基础
3.3步进扫描光刻机隔振试验平台ADAMS仿真模型的建立
3.4减振系统主要参数变化对试验平台动态特性影响分析
3.5减振器非线性刚度和阻尼对内部世界振动特性的影响
3.6本章小结
第四章减振系统动力学建模与分析
4.1概述
4.2弹性支撑任意布置的减振体振动数学模型
4.3试验平台减振系统动力学方程的建立
4.4内部世界固有频率计算结果分析
4.5内部世界固有频率试验模态参数频域识别分析
4.6本章小结
第五章减振系统的主动控制策略研究
5.1概述
5.2主动减振控制理论策略分析
5.3基于ADAMS和MATLAB的联合控制仿真模型分析
5.4基于PID的主动减振系统减振器独立控制研究
5.5基于PID的主动减振系统协同控制仿真研究
5.6仿真结果比较分析
5.7本章小结
第六章减振系统对环境噪声引起微振动的适应性试验分析
6.1概述
6.2影响试验平台内部世界微振动的主要因素分析
6.3试验系统组成及减振系统对微振动适应性评判方法
6.4测试结果分析
6.5本章小结
第七章减振系统静动态减振性能测试试验分析
7.1减振系统减振性能测试试验系统组成
7.2减振系统静态减振性能测试试验分析
7.3减振系统动态减振性能测试试验分析
7.4本章小结
第八章全文总结与展望
参考文献
致谢
攻读博士学位期间参加科研、申请专利和发表论文情况