ガスフロースパツタ法により作製したCo-Pt/Pt薄膜の微細構造とアニールの効果

摘要

GFS法により作製したCo_(75)Pt_(25)（30nm）Pt（200nm）垂直磁化膜について，その微細構造とアニール温度依存性を評価し，以下の知見を得た．1）Pt（111）下地上に堆積したCo－Pt薄膜においては，hcp構造で単結晶の柱状粒子が［00.1］方向に配向して成長し，粒子径は10nm程度である．ただし，それらの粒子が密に成長した望次グレインを形成している．2］アニールによる保磁力の増加は，2次グレインを構成する結晶粒界の酸化が進むことにより10nm以下の柱状のCo－Pt粒子が磁気的に分離された構造が形成されたためと考えられる.