特集：最近のセンサデバイス－2相駆動方式による3軸角速度検出ジャイロセンサ

摘要

そこで筆者らは、多軸検出と小型化を両立するため、単一の質量要素のみで複数軸の角速度を検出するための基本原理について検討を行っている。 これまで単一デバイスにより2軸角速度の検出可能なセンサが提供されているが、本報で述べる2相駆動方式の原理によれば、単体デバイスとして3軸全ての軸まわりの角速度が検出可能である。本報はまず動作原理の基本を述べ、後に構造例として慣性体付加ダイアフラム振動子に関する実験結果を示す。 さらに発展例として、現在解析レベルで検討を進めている水晶音叉型に関しても言及する。