角速度传感器、传感器元件及多轴角速度传感器

摘要

角速度传感器具有压电体、驱动电路和检测电路。压电体具有框架、一对驱动臂和检测臂。框架在正交坐标系xyz的x轴方向上相互分离的一对被支承部被支承。一对驱动臂在一对被支承部之间并且在x轴方向上相互分离的位置处从框架向y轴方向相互并列地延伸。检测臂在x轴方向上成为一对第一驱动臂之间的位置处从框架向y轴方向延伸。驱动电路向一对第一驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得一对第一驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并振动。检测电路检测通过检测臂在z轴方向或者x轴方向上的弯曲变形而产生的信号。