传感器元件、角速度传感器及多轴角速度传感器

摘要

传感器元件具有压电体、多个激发电极和多个检测电极。压电体具有框架、以及从框架起在与正交坐标系xyz的xy平面平行的规定平面内延伸的驱动臂及检测臂。多个激发电极位于驱动臂。多个检测电极以能检测因检测臂的z轴方向上的弯曲变形而产生的信号的配置位于检测臂。检测臂具有第一臂及第二臂。第一臂从框架起在所述规定平面内延伸。第二臂与第一臂的前端侧部分连结，且从第一臂的前端侧向框架侧在所述规定平面内延伸，框架侧的端部被设为自由端。