機能性流体を用いたマイクロフルードパワーシステム：電界共役流体マイクロポンプモジュールの小形·高出力化

摘要

マイクロフルードパワーシステムにおいて、出力源であるマイクロポンプの小形化と高出力化は重要な開発課題である。本稿では機能性流体の一つである電界共役流体（ECF）を用いた円筒形マイクロポンプモジュールの試作結果とその小形·高出力化をめざした開発過程の一端を紹介する。