レーザープローブ走査方式の超精密測定の研究－青色レーザー利用による高精度化

摘要

DVDや携帯電話などのデジタル情報家電や光学デバイス用の微細金型は形状の加工精度を検証するため、高精度な測定器が必要である。従来そのような微細形状の測定は、接触式形状測定器により測定されているが、①測定プローブの真球度や変形の影響を受ける、②微細なパターンの測定の場合はプローブの径より小さなピッチのパターンは討測できない、③矩形のエッジ部の計測は不可、④プローブとの接触により傷がつくなどの問題があった。一方、非接触のレーザープローブ方式の形状測定器ではそのような問題は生じない。しかし、最近はパターンがさらに微細化し、従来の赤色レーザーでは測定が困難となってきている。そこで本研究では、新たに青色レーザー利用の計測システムを開発し、高精度化の検討を行ったので報告する。