最新測定技術－微細·ナノを測る：レーザープローブ式による超精密加工部品の形状計測

摘要

近年ディスプレイ関係や携帯電話などの光学部品の需要が大きく伸びており、超精密成形加工による量産技術がキーポイントとなっている。 これらの光学部品は接触式による測定痕を嫌うことはもとより、数十ナノメートルの測定精度を要求されているため接触式では測定が困難となっている。 またマイクロマシンの分野においては1mm以下の機械要素の製作が求められており、これらも小さすぎて接触式での測定限界にある。 これらの計測のために様々な非接触測定法が提案/実用化されているが、ここで紹介する“レーザープローブ式”はあらゆるワークを広範囲かつ、ナノメートルレベルの精度で計測できるため超精密加工部品の寸法·形状測定原器として利用されるようになってきている。