ピ口ール系化学吸着単分子膜とポリピ口ール膜を利用した樹脂基板上の銅めっき接着力向上に関する研究

摘要

線バターンの微細化にともない，樹脂の表面粗さを増加させることなく，板とめっき被膜との着力を向上させる技術が求められている。本研究では，樹」旨基板と銅めっき被膜との界面に，中『R7層としてピロール系化学吸着単分子 膜とポリピロール膜を導入し，銅めっき被膜との接着力を向上することを目指した。処理したサンプルの断面をSEMで観察し，樹脂旨表面があれていないことを確認した。そして，接着力をピール強度試験で評価した。最大平均ピール強度は0.98kN/mを示し，中間罰層がない場合と比較すると，?5倍となった。