ミクロ反応場の生成と応用－マイクロプラズマ研究の現状と将来展望－.4. マイクロプラズマの応用

摘要

マイクロプラズマの発生，そして，診断に加え，マイクロプラズマの応用研究が精力的に進められている．マイクロプラズマが持つユニークな特徴，例えば，空間的局在性や高密度性などを利用し，新機能材料合成，バイオマテリアル処理，化学分析，極短波長光源，多次元的高速微細加工，プラズマ機能デバイスなど，多分野での新たな応用技術の開発が進められている（Fig．1參照）．この帝では，われわれの研究の概要を紹介する．