ミクロ反応場の生成と応用－マイクロプラズマ研究の現状と将来展望－.2.マイクロプラズマの生成

摘要

放電によるマイクロプラズマ生成法は，これまで報告されているものを考えるとFig．1のようにエネルギー集中型，空間制限型，媒質制限型の3種類に大きく分けられ，それぞれ以下のような三拝徴がある．針電極の先端部を利用するエネルギー集中型では，プラズマの超微細化が可能で，空間的自由度も大きい．微細な放電容器や固体壁を用いる空間制限型は放電の制御が容易で多様であるが，容器壁面とプラズマとの相互作用の影響が大きい．放電容器なしで微小な媒質を電極間で放電させる媒質制限型では，大気中の関空間で自由にプラズマを生成でき，また多様な媒質が利用できる．筆者らはマイクロプラズマとしてさまざまな展開が期待でき，かつ壁等との珊互作用が無視でき，放電の構造としてもっとも単純である媒質制限型の生成法に注目している．