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マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置

机译:微波输出装置及等离子体处理装置

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To control pulse modulated power of microwave having a bandwidth.;SOLUTION: The device includes a microwave generating part generation a microwave having a bandwidth, an output part, a directional coupler and a measurement part. The microwave generating part generates a microwave having power subjected to pulse modulation so as to become High level and Low level. The measurement part determines a first High measurement value and a first Low measurement value indicating the High level and Low level of the power of a progressive wave, respectively, at the output part on the basis of a part of the progressive wave outputted from the directional coupler. The microwave generating part controls the High level power of microwave subjected to pulse modulation on the basis of an averaged first High measurement value and a set power of High level, and controls the Low level power of microwave subjected to pulse modulation on the basis of an averaged first Low measurement value and a set power of Low level.;SELECTED DRAWING: Figure 2;COPYRIGHT: (C)2019,JPO&INPIT
机译:解决的问题:控制具有带宽的微波的脉冲调制功率。解决方案:该设备包括产生微波的微波产生部分,输出部分,定向耦合器和测量部分。微波产生部产生具有经过脉冲调制的功率的微波,以使其变为高电平和低电平。测量部分基于从定向方向输出的一部分渐进波,在输出部分分别确定表示渐进波功率的高电平和低电平的第一高测量值和第一低测量值。耦合器。微波产生部基于平均的第一高测量值和高电平的设定功率来控制进行了脉冲调制的微波的高电平功率,并基于功率的变化来控制进行了脉冲调制的微波的低电平功率。平均第一个低测量值和设置的低电平功率。;选定的图纸:图2;版权:(C)2019,JPO&INPIT

著录项

  • 公开/公告号JP2019036482A

    专利类型

  • 公开/公告日2019-03-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LTD;

    申请/专利号JP20170157887

  • 发明设计人 金子 和史;石田 洋平;

    申请日2017-08-18

  • 分类号H05H1/46;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 12:20:05

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