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等离子体材料处理装置电源的设计

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叙述了DCCZ-6型等离子体材料处理装置电源的控制原理及具体设计方案。

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来源
《中国物理学会第九届静电学术年会》|2000年|72-73|共2页
会议地点石家庄
作者

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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子电路;
关键词
等离子体; 低压辉光电源; 电源;
入库时间 2022-08-17 10:25:43

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