低気圧マイクロプラズマの生成とその機能性薄膜作製プロセスの応用

摘要

細管内壁への機能性コーティングのニーズは，医療関係、半導体関係など多岐に亘る．その中でも医療，バイオ分野への応用が大きく期待されている?例として，カテーテルへ血液適合性を向上させるためのポリマー系膜コーティングに代表されるような数的径を有するカテ←テル内壁面への各種バリアコーティング，または1mmΦほどの管内壁面への貴金属威厳による新たなバイオセンサへの応用等が考ぇられる，しかし，これらのチューブ類は金属製だけでなく低温でのコーティングが要求される低融点のポリマーなどの絶縁物細管であり，さらにコーティングの密着性が生動こかかわる重要な要件となる．