大気圧マイクロプラズマプロセス－局所·大面積プロセスに向けた各種マイクロプラズマ源とその応用

摘要

他の特徴として，サイズが小さいことによって，適度なガス流速においてもプラズマ中でのガス分子の滞在時間がμsオーダーに短くなるので，連続動作においても電子系と分子系の間で熱的な非平衡状態が実現でき，それによって多くの新しい材料合成や表面処理への応用が展開できる可能性を持っている．本記事では，このような特徴をもったマイクロプラズマの生成法と応用について解説する．