MEMSウエハレベル実装に適した陽極接合可能なLTCC基板

摘要

MENS (Micro Electro Mechanical Systems)はフオトリソグラフィ技術や採掘エッチング技術などのさまざまなウエハレベル微細加工技術で作る非常に小型な構造体や電気機械的なシステムのことである．エアーバック用の加速度センサ等がこの技術で製造されており，最近ではゲーム機や携帯電話で用いられるなど，次第に身近な生活を豊かにする部品として数多く使われるようになってきた．また半導体業界では，「半導体に集積されるトランジスタの数は18～24ヶ月ごとに倍増する」という半導体業界を牽引してきた「Mooreの法則」が限界に近づいているといわれている．