アークプラズマ蒸着源を用いた低摩擦係数DLC膜と耐熱性を有する超微結晶ナノダイヤモンド（UNCD）膜

摘要

炭素系材料に基づく新材料が開発され，産業界において様々な分野で使われている。商品に応用された炭素系材料は，鉛筆の芯からダイヤモンドまで様々ある。2010年のノーベル物理学賞では半導体や透明電極など幅広い応用の可能性があるグラフェンを発見したAndre Geim氏とKonstantin Novoselov氏が受賞した。これが契機となり，新規炭素系材料の開発がますます盛んに行われている。本稿では，特にダイヤモンドライクカーボン（DLC）と超ナノ微結晶ダイヤモンド（Ultra Nano Crystalline Diamond：以下，UNCD）について紹介する。ここでは通常の，プラズマCVD方式で作られるものではなく，アークプラズマ蒸着源（正式名称は同軸型真空パルスアーク蒸着源）を用いた物理的な成膜手法を用いてDLCとUNCDを形成した例を紹介する。