超短パルスレーザービーム整形によるマイクロ·ナノ加工

摘要

さらなる加工の高品質化，高効率化，高解像度化を目指し，近年ビーム整形によるマイクロ·ナノ加工の研究が注目されている。ビーム整形技術には，時間的整形と空間的整形の2種類がある。時間的整形とはパルス波形整形のことであり，空間的整形とはレーザビームの空間強度分布を制御することを意味する。さらにパルス幅を空間的に制御する時空間整形による加工も試みられている。本稿では筆者のグループの研究を中心に，最近の超短パルスレーザービーム整形によるマイクロ·ナノ加工技術に関して解説する。