关于微/纳米加工实验室管理与维护的探讨

摘要

随着现代科技的发展,高校的科研工作更加注重与实际应用相结合,因此,国内很多高校建立了微/纳米加工实验室,用于开展微/纳米尺度下材料和原理性器件的性能研究。微/纳米加工技术主要研究的是微/纳米级图形的加工工艺流程,其对实验室的环境和专业设备等硬件要求很高,相应的实验室环境和设备的管理与维护就显得尤为重要。文章结合作者管理和维护微/纳米加工实验室的经验,讨论了如何做好实验室(超净室),尤其是专业设备的管理和维护的相关问题。