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使用超短脉冲激光束的激光加工方法

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摘要

一种激光加工装置(10)包括用来输出脉冲宽度为0.1ps到100ps的激光束的超短脉冲激光器(11)，和用来调整激光束能量的衰减器(13)。通过使用加工能量为300mJ/cm

著录项

  • 公开/公告号CN1655937A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2005-08-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 松下电器产业株式会社;

    申请/专利号CN03811683.9

  • 发明设计人 丰福洋介;水山洋右;

    申请日2003-05-15

  • 分类号B41J2/16;B23K26/38;B23K26/06;

  • 代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;

  • 代理人龙淳

  • 地址 日本大阪

  • 入库时间 2023-12-17 16:21:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-09-19

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2005-10-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-08-17

    公开

    公开

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