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机译:化学机械抛光表面处理的纳米多孔SiO2薄膜的摩擦特性
Nanoporous; Mesoporous; Thin film; Chemical mechanical polishing; Tribology;
机译:化学机械抛光表面处理的纳米多孔SiO2薄膜的摩擦特性
机译:使用聚苯乙烯@二氧化铈(PS @ CeO2)核壳纳米复合材料对SiO2膜进行化学机械抛光
机译:阳离子对SiO2薄膜化学机械抛光的影响
机译:改进化学机械抛光多晶硅膜上的薄膜晶体管(TFT)特性
机译:低k介电化学机械抛光中低缺陷度纳米多孔二氧化硅微粒的合成与表征。
机译:浆料组成对金刚石薄膜化学机械抛光的影响
机译:机械特性对介电薄膜化学机械抛光的影响