表面波方法表征纳米多孔SiO_2薄膜机械特性的对准技术

摘要

超声表面波方法表征薄膜材料机械特性的过程是将理论计算的色散曲线与实验所得的色散曲线进行拟合,获得所测薄膜样品的杨氏模量值.因此,实验信号的有效性是获得准确结果的最重要因素.双端压电传感探头的设计确保了实验测试条件与理论计算模型的一致性,从而进一步增加了测定结果的准确性.应用此技术对纳米多孔SiO2薄膜的机械性能进行了测定,当其膜密度为1.15g/cm3时,拟合出的杨氏模量值为1.5GPa.分析结果还表明影响拟合结果准确性的实验因素主要是压头的位置与平头表面波的角度偏差.