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表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性

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研究了在Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si[100]和[110]晶向传播的速度频率色散特性,给出了表面波色散特性的理论推导,得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.

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来源
《半导体学报》 |2005年第10期|2032-2037|共6页
作者
李志国; 肖夏; 张鑫慧; 姚素英;
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作者单位

天津大学电子信息工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类互连及多层布线技术;
关键词
低介电常数介质; 表面波; 频散特性; 杨氏模量;

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