State University of New York at Albany.;
机译:通过等离子体离子注入制备用于ULSI多级互连的低介电常数材料
机译:PECVD沉积的用于多层互连的层间电介质的低介电常数SiOC薄膜的特性
机译:ULSI中低$ k $多层金属化结构的介电常数评估新方法
机译:用于ULSI多级互连的低k电介质:取决于厚度的电和电介质性能
机译:低介电常数的氟化聚酰亚胺用作ULSI中的层间电介质的研究。
机译:致力于具有高介电常数和低损耗的柔性介电材料:具有均相分散的CNT和离子液体纳米域的PVDF纳米复合材料
机译:高速/低功率超大规模集成电路低介电常数绝缘子的材料和集成研究
机译:作为电容器介质的高介电常数材料的介电谱研究