包括高温臭氧处理的制备纳米多孔超低介电薄膜的方法以及由其制备得到的纳米多孔超低介电薄膜

摘要

本发明提供包括高温臭氧处理的制备纳米多孔超低介电薄膜的方法以及由其制备得到的纳米多孔超低介电薄膜；所述方法包括：通过混合含有有机硅酸酯基质的溶液和含有反应性致孔剂的溶液而制备混合溶液；将所述混合溶液涂覆在基底上形成薄膜；和对所述薄膜实施热处理并且在所述热处理的过程中实施臭氧处理；通过采用高温臭氧处理和优化的处理温度，而改善在所述薄膜中的微孔大小以及微孔分布，使得通过所述制备方法制备得到的纳米多孔超低介电薄膜可具有2.3以下的介电常数和10GPa以上的机械强度。