НОВЫЕ ФЕНИЛЗАМЕЩЕННЫЕ ПОЛИФЕНИЛЕНЫ С НАНОПОРИСТОЙ СТРУКТУРОЙ И УЛЬТРАНИЗКОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТЬЮ, СФОРМИРОВАННЫЕ В СВЕРХКРИТИЧЕСКОМ ДИОКСИДЕ УГЛЕРОДА

摘要

В связи с постоянно возрастающими запросами по созданию и миниатюризации микрочипов все более актуальной становится разработка полимеров с ультранизкой диэлектрической постоянной в сочетании с высокими термическими и механическими характеристиками [1, 2]. В настоящее время фторированные полиимиды (диэлектрическая постоянная k = 2.6—2.8) в наибольшей степени отвечают требованиям, предъявляемым к полимерным диэлектрикам [3, 4]. Однако требования к ним ужесточаются, поколение материалов будущего требует k < 2, что стимулирует дальнейший поиск полимерных материалов с ультранизкими диэлектрическими постоянными [5].