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机译:两个三叶草形的压阻硅麦克风,用于光声气体传感器
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机译:专为表征湍流气流而设计的小压电抗微生物硅酮
机译:含正压渗透性单晶硅和电化学刻绘的航空声音的低压声传感器
机译:三叶草形硅压阻麦克风,用于微型光声气体传感器
机译:压阻硅MEMS应变传感器的静态和动态性能评估。
机译:基于声膜上硅光子环谐振器的灵敏光学微机械超声传感器(OMUS)
机译:基于CMOS微栅极和MEMS麦克风的小型化热声气体传感器
机译:硅片中光声脉冲传播的光学监测